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随着计算机技术和微电子技术的发展,计量光栅作为一种高精度的检测元件,已占中高档测量系统的80%以上。然而由于硬件条件的限制、建立超精密制造环境的技术不成熟、条纹信号质量不高等原因,我国高线数大长度光栅刻制技术的研究仍主要体现在理论研究和关键技术的攻关层面上。基于气浮支承和直线电机直接驱动技术的精密长行程气浮定位工作台是精密机械中的一种典型结构,它为光刻技术、数控加工领域提供一个能够实现精密定位和精确运动的载物平台。精密直线气浮工作台的设计中,承载能力和刚度是重要的性能指标,它们决定着气浮工作