二维气浮工作台相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

二维气浮工作台相关论文

适用于长光栅刻制的二维超大行程气浮工作台结构设计

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学位

超大行程二维气浮工作台有限元流场耗气量承载力

精密高刚度二维气浮工作台的设计与分析

目前精密二维气浮工作台的研究,存在着二维气浮工作台的刚度和承载力较小的问题,设计了一种以精密方箱为基准的精密高刚度二维气浮......

期刊

闭式平面气浮导轨二维气浮工作台精密高刚度

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