近年来微结构和微型模具的需求日益增多,极大地促进了微细加工技术的研究与发展。微细电火花加工以其独特的加工方式和广泛的材料适用范围受到越来越多的关注,有时候,它是解决导电材料上大深径比和复杂三维形状制作的唯一途径,因此微细电火花加工迅速成长为微细加工领域内一项不可替代的技术。微细电火花加工中,利用简单截面形状的电极进行分层扫描加工能够制造出复杂形状的三维微结构。然而,加工中由于电极尺寸较小,电极损耗极其严重,影响了加工效率、稳定性以及工件质量。因此,如何有效地对电极损耗进行补偿就成了微细电火花三维加工中的一个关键问题。本文提出了一种基于网格划分的电极损耗补偿方法,这种方法将均匀损耗法(UWM)的基本原理和分段均匀损耗法(CLU)的一层多补思想结合在一起,不但有效地解决了均匀损耗法在每层加工起始处一次性补偿引起的加工不稳定问题,而且消除了分段均匀损耗法中由于忽略相邻刀具轨迹间的重叠面积而补偿不准确或错误补偿的现象,使得加工时放电间隙始终保持在合适的范围内,有利于获得更高的加工质量。为验证本文所提出的新的电极损耗补偿方法,利用NI LabVIEW软件编制了微细电火花三维数控铣削加工软件,并实现了与CAD/CAM软件的集成。软件的功能包括微细电极在线制作、三维加工、代码显示、刀具轨迹实时显示以及电压数据采集等,可满足实验所需的各种加工要求,为深入研究本文方法奠定了良好基础。通过运用本文方法和上述其他方法所进行的对比加工实验的结果表明,新补偿方法的电极相对体积损耗率有所降低；工件的材料去除率有所提高,同时加工状态的稳定性和加工效率也均得到了改善。最后,利用此软件和新提出的电极损耗补偿方法加工了若干复杂的三维微结构,进一步检验了新补偿方法的正确性和适用性。