本文研究了高压磨料水射流切割花岗石时主要加工工艺参数对工件切口质量的影响,设计了精密微磨料水射流加工系统功能原理图,研制成功了蓄能式脉冲供料系统和精密微磨料水射流加工系统,并对硬脆工件材料进行了初步的抛光实验。研究了高压磨料水射流切割花岗石时水压、切割速度和靶距对工件切口余纹角度、切口锥度和切口宽度的影响。结果表明,随着水压的增加和切割速度的减小,余纹角度和切口锥度均减小,而切口宽度增加。靶距对余纹角度、切口锥度和切口宽度影响不大。设计了精密微磨料水射流加工系统功能原理图。在分析精密微磨料水射流加工系统功能的基础上,将整个系统分为供压系统模块、喷射系统模块、供料系统模块、运动及控制模块四个系统模块,提出了各功能模块的设计原则。研制成功了蓄能式脉冲供料系统和精密微磨料水射流加工系统,并测定了精密微磨料水射流加工系统的射流流量、流速、压力及磨料供给量。其喷射系统采用的水喷嘴直径为0.08mm,混合管内径为0.3mm,混合管长度为76.2mm,可形成直径小于0.3mm的微磨料水射流。该系统可提供0-15MPa的压力,微水射流流量为0.2-0.55ml/s,射流流速为40-110m/s,单脉冲最小供料量可达0.2-0.4mg/脉冲,微磨料水射流冲击力为0.02-0.07N。磨料的单脉冲供料量随输料气流压力的增大和脉冲频率的降低而增大;随着系统压力的提高,微磨料水射流的流量和流速相应增大,但增加的趋势由低压到高压逐渐变慢;射流压力随喷射系统的压力的增加而增大,随靶距的增大而略有减少。利用研制成功的精密微磨料水射流加工系统对硅酸盐玻璃和Si3N4进行了初步的抛光实验。结果表明,硅酸盐玻璃和Si3N4的表面粗糙度(Ra)分别由抛光前的0.334μm和0.167μm降低为抛光后0.080μm和0.069μm,证明了精密微磨料水射流加工系统在硬脆材料抛光方面的可行性和优越性。