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本课题就是研究吸附效应对纳机电系统(Nano—electromechanical system NEMS)中常用的纳米梁特性的影响。
全文分为三个主要方面进行研究:吸附效应对纳米梁谐振频率的影响、吸附效应对纳米梁品质因数的影响和吸附诱致的表面应力。前面两个内容属于动态特性的分析,主要进行理论分析和计算,第三个研究内容属于静态特性的分析,主要是利用分子动力学软件进行模拟。结果表明,吸附效应对纳米梁谐振频率的影响很大,远远大于空气阻尼的影响;在一定的环境中,对其Q值也有一定的影响;吸附会产生表面应力,引起纳米悬臂梁的变形。因此,我们认为,到了纳米尺度,吸附效应的影响变得不可忽略,在某些方面,其影响甚至占主导地位。
本课题的研究对设计NEMS器件,分析器件特性具有一定的参考意义。