【摘 要】
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利用压阻效应制成的压力传感器具有广泛的应用,但是由于传感器的输出信号比较微弱,同时还存在着干扰,所以研究压阻式MEMS压力传感器专用集成电路十分重要。基于0.18μm工艺,设计了一款用于压阻式MEMS压力传感器的专用集成电路。电路包括信号处理部分与电源部分,信号处理部分包括带有斩波功能的仪表放大器,通过斩波技术显著的降低放大器的闪烁噪声,使用模数转换器将放大后的模拟量转换为方便处理的数字信号。电源
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利用压阻效应制成的压力传感器具有广泛的应用,但是由于传感器的输出信号比较微弱,同时还存在着干扰,所以研究压阻式MEMS压力传感器专用集成电路十分重要。基于0.18μm工艺,设计了一款用于压阻式MEMS压力传感器的专用集成电路。电路包括信号处理部分与电源部分,信号处理部分包括带有斩波功能的仪表放大器,通过斩波技术显著的降低放大器的闪烁噪声,使用模数转换器将放大后的模拟量转换为方便处理的数字信号。电源部分为整个电路提供具有高电源抑制比的电源,同时为电桥提供偏置。使用Cadence Virtuoso软件对电路进行设计和仿真,放大器可提供最大128倍的增益,Sigma-delta调制器的有效位数为16.6位。电源部分可向传感器提供3 V恒压偏置或最大1 m A的恒流偏置。
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