光谱成像技术兼备空间分辨能力和光谱分辨能力,同时也将图像分析技术和光谱分析技术紧密联系起来。近几年,光谱成像技术在军事侦察、农业生产、前沿医学等的应用远景得到了许多研究学者的青睐。声光可调谐滤波器(Acousto-optic tunable filter,简称AOTF)是一种新型分光元件,目前基于声光可调谐滤波技术的光谱成像研究还处于不断摸索中,我国在该方面的研究较晚,也没有进入实际应用阶段,仍要进行大量的研究,结合科技部国际科技合作项目要求,本文以声光可调谐滤波器的加工工艺技术作为主要研究对象,开展了相关研究。首先,结合项目的器件性能参数指标和要求,确定压电换能器的切型(X切LiNiO3),并用COMSOL软件对其进行厚度切变振动模式的仿真;研究分析制作AOTF的工艺理论作为基础,利用UNIPOL-802平面研磨抛光机对压电晶体进行研磨抛光研究,反复实验,找出满足技术要求的化学机械研磨抛光(CMP)工艺方案;确定压电层的厚度(16μm)、键合膜的结构类型(双层增透膜)和厚度参数,鉴于键合膜层材料的种类和厚度均不相同,并且根据膜层特性,确定真空镀膜的方式和工艺条件,实验得到真空镀铬、镀金、镀铟的工艺参数。由于压电层特别薄而且对厚度误差要求较高,真空压合后形状比较特殊,不能进行直接减薄,针对此问题,提出并设计了一种用于晶体化学机械研磨减薄的夹具和方法,经该结构和方法进行校准减薄后的压电晶体厚度16.055μm,厚度误差0.734μm。经过该套工艺参数得到的实验结果满足项目的需求,为声光可调谐滤波技术的实际应用起到良好的促进作用。