【摘 要】
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随着光学薄膜技术的不断发展,光学薄膜器件应用的日益广泛,光学薄膜器件的温度稳定性研究也被提到了极重要的地位.为了解决空间工程光学薄膜器件的温度稳定性问题,该论文从镀
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随着光学薄膜技术的不断发展,光学薄膜器件应用的日益广泛,光学薄膜器件的温度稳定性研究也被提到了极重要的地位.为了解决空间工程光学薄膜器件的温度稳定性问题,该论文从镀膜材料特性,沉积工艺等方面对这一问题展开了深入的研究.该文首次采用质子激发X荧光技术（PIXE）、共振弹性散射方法系统地研究薄膜材料光学性质与组分的关系,得到了最佳组分的沉积条件.该文的具体研究内容和结论如下：1、利用<16>O（α,α）<16>O的共振散射,定量分析了氧化钛薄膜中氧浓度和化学配比的深度分布.2、根据实际需要,我们设计并镀制了一种在红外区6.3-7.6μm波段性能优良的用于探测水汽的滤光片.3、提出了改善半导体材料折射温度系数的方法,并研制了新型红外高折射率材料Pb<,1-x>Ge<,x>Te.对Pb<,1-x>Ge<,x>Te材料的均匀性进行了研究.4、对用传统的真空热蒸发方法制备Pb<,1-x>Ge<,x>Te薄膜研究发现Pb<,1-x>Ge<,x>Te是一种高性能的红外材料,在3～25μm光谱范围内具有较好的透光性能,室温下的折射率为4.8～6.0.
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