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随着纳米科学技术的快速发展,纳米机电系统已经广泛应用于光学、电子学、精密测量学、制造加工学等领域。在纳米机电系统中,纳米定位技术是一个十分前沿且非常重要的分支,纳米定位技术能实现被控物体的高精度微小移动,它是人类探索微观世界过程中非常重要的工具之一。具有纳米级精度的精密平台已经广泛应用于扫描电子显微镜、原子力显微镜和精密光学平台中,且对分辨率和频率响应有较高的要求。在这种背景下,设计一个精密可靠的二维精密平台系统,并在此基础上展开研究。由于剪切型压电陶瓷结构紧凑、响应频率高,且可以直接驱动载物台运动