经过20多年发展，高技术产业已经成为我国国民经济的重要组成部分。高技术产业具有高附加值和高收益特征，不仅代表着产业未来的发展方向，而且对提升传统产业的竞争力也具有非常积极的作用。发展高技术产业，也是推动我国经济发展和产业转型升级的重要举措。高技术产业中的R&D活动是我国经济增长的重要推动力，对于引导我国经济实现“投资驱动型”向“技术驱动型”转变具有非常重要的作用。因此，研究R&D效率能够明确我国高新技术产业的发展水平，为进一步制定推进我国高技术产业发展策略提供数据支持。本文分别从产业层面和区域层面对我国高技术产业的R&D效率进行了研究。本研究共分为六个部分，第一部分为绪论，阐述了本研究的背景、意义、创新之处及结构安排。第二部分、第三部分为文献综述，对R&D效率评价、DEA方法的相关文献进行了回顾，介绍了常用的效率评价方法，并对DEA方法进行了详细介绍。第四部分为行业R&D效率评价，运用DEA方法对我国高技术产业17个行业2006至2010年的R&D效率进行了评价，研究发现，我国高技术产业的效率普遍较低，存在较大的提升空间。第五部分为区域R&D效率评价，运用DEA方法对我国高技术产业2011年27个省市的R&D效率进行了评价，研究发现，我国东部R&D效率相对较高，中西部效率较低。第六部分为结论与展望，针对得到的结论提出了相关的建议，并提出了本研究的局限性及有待进一步研究的问题。