【摘 要】
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目前扫描探针显微镜的发展趋势是功能的复合化，根据原子力显微镜(AFM)的工作原理，可以开发适用于不同领域的显微镜，即AFM不同扫描模式的拓展。 本文首先介绍了几种基本的AFM
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目前扫描探针显微镜的发展趋势是功能的复合化，根据原子力显微镜(AFM)的工作原理，可以开发适用于不同领域的显微镜，即AFM不同扫描模式的拓展。 本文首先介绍了几种基本的AFM成像模式，并从针尖-样品相互作用动力学理论、能耗理论以及A-P-Z曲线原理分析了轻敲模式下AFM的相位成像，讨论了如何由A-P-Z(振幅-相位-针尖至样品距离)曲线选择扫描振幅的设置参数，扫描振幅参数的不同选择将直接影响相位图像的好坏，甚至是真假，所以选择一个好的扫描振幅参数是至关重要的。其次介绍了新型复合显微镜原子力／光子扫描隧道显微镜(AF／PSTM)的成像模式，并给出了很多具体实验结果，最后还对脉冲力成像模式(Pulsed Force Mode-PFM)进行了详细的介绍。
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