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涂层的耐磨性是涂层在实际工业生产中应用的关键,而涂层的硬度、韧性、膜/基结合力等性能都对其耐磨性有极为重要的影响。本文选择Ti-Si-C-N涂层、类金刚石(Diamond-like carbon, DLC)涂层以及含有SiC/DLC过渡层的类金刚石涂层作为研究对象,旨在研究涂层的硬度、弹塑性变形能力、韧性、膜/基结合力与耐磨性之间的关系。利用EDX, SEM、XRD和Raman对Ti-Si-C-N涂层、不含过渡层的DLC涂层和含有SiC/DCL过渡层的DLC涂层的成分和结构进行了表征,评价三种涂层的显微硬度、弹塑性变形能力、韧性、膜/基结合力和摩擦磨损性能。通过实验,探讨了Ti-Si-C-N涂层和不含过渡层的DLC涂层的耐磨性与其他力学性能的关系,结果表明:Ti-Si-C-N涂层由TiC和TiN两相组成;与DLC涂层相比,Ti-Si-C-N涂层具有很高的硬度,较强的塑性变形能力,较低的韧性,较高的膜/基结合力和较差的耐磨性;Ti-Si-C-N涂层的强塑性、低韧性以及磨损过程中所受的高赫兹应力是导致耐磨性较差的原因;与Ti-Si-C-N涂层相比,DLC涂层所具有的较高的韧性、较高的弹性回复能力以及磨损过程中的低赫兹应力使其具有较好的耐磨性。通过实验,探讨了SiC/DLC过渡层对类金刚石涂层力学性能的影响以及两种涂层耐磨性与其他力学性能的关系,探讨了SiC/DLC过渡层对类金刚石涂层力学性能的影响以及两种涂层耐磨性与其他力学性能的关系。结果表明:两种样品的表层类金刚石涂层结构一致;引入的SiC/DLC过渡层可以提高类金刚石涂层的硬度、韧性和膜/基结合力,降低类金刚石涂层的塑性变形能力,硬度、韧性和膜/基结合力的提高增加了类金刚石涂层的耐磨性。