沟槽填充的动力学晶格蒙特卡罗模拟

来源 :华中科技大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:XULIANSHUAI
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
随着超大规模集成电路中电子器件尺寸的减小和单位面积器件密度的增加,导致电子器件尺寸的收缩,金属导线变得更长和更窄了,电子电迁移电阻和电容就不能再忽视了。本文建立了一个动力学晶格蒙特卡罗(KLMC)模型,所谓动力学晶格蒙特卡罗就是每个沉积原子沉积到表面时必须停留在晶格格点上,吸附原子也只能在晶格格点间跳跃。通过跟踪大量的沉积粒子在沟槽上的沉积、吸附、扩散、凝聚和生长等行为,对沟槽填充进行了数值模拟。在模型中详细考虑了吸附粒子与最近邻和次近邻粒子之间的相互作用,本文就入射粒子的截止角、基底温度和沉积速度对沟槽填充的形貌的影响进行了研究。
其他文献
该文运用理论化学方法研究了细胞内二级信使一腺苷3,5-磷酸单酯(cAMP)及相关磷酸二酯的非酶水解和酶催化水解.第一章中我们运用第一原理电子结构计算方法研究了cAMP及相关的
嵌段共聚物可以自组装形成丰富的微相结构,而这些微相结构存在潜在的工业应用价值,因此这一领域受到了研究者们的广泛关注。对最简单的AB两嵌段共聚物在体相中发生的微观相分离
学位
采用飞秒脉冲的饱和吸收光谱方法研究了GaAs/AlGaAs多量子阱中电子自旋的注入和弛豫特性,测得电子自旋极化弛豫时间为80ps.说明了电子自旋-轨道耦合相互作用引起局域磁场的随
量子信息是信息科学与量子力学相结合的新兴交叉学科,包括量子通信和量子计算两个重要方面.量子密集编码是量子通信的一个重要分支,其基本原理是通信双方共享处于最大纠缠态
利用四维地震数据间的差异来分析和描述地质目标体的属性变化,达到认识储层动态变化和寻找剩余油气的目的.四维地震也就是该文将要介绍的时移地震,就是三维空间加一维时间构
本文采用硝酸腐蚀银箔、铜箔得到一定粗糙度的活性衬底,置于简易样品池中,进行乙炔、乙烯、一氧化碳、氢气、甲烷和乙烷的表面增强喇曼光谱研究,探索一种新的诊断微量气体的方法
原题呈现rn“东方神童”魏永康,2岁就掌握1000多个汉字,4岁几乎学完小学课程,8岁进重点中学,17岁考入中科院硕博连读……竟因到北京读书后,生活完全无法自理,后来被中科院劝
期刊
信息技术的发展是人类社会发展的一个重要的组成部分,而材料科学的发展是信息技术发展的重要标志,电子管、半导体、到现在的非线性材料飞速发展无不标志着信息技术发展的重要
该文通过密度泛涵理论blyp/dnp对CH、新型碳化钪内掺富勒烯ScC@C以及CSi的几何结构和电子结构进行了系统研究.我们发现,ScC在C内是可以稳定存在的,只是内掺后碳笼的体积略有