微透镜阵列快刀伺服加工系统设计与控制研究

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微透镜阵列是指由一系列尺寸在微米级的透镜按一定的方式排列而成的一类光学元件。近年发展起来的快刀伺服加工技术,具有加工精度高、速度快等优势。不仅可以直接制作微透镜阵列,而且可以制作微透镜阵列模芯,因此,快刀伺服加工微透镜阵列技术就成为制作微透镜阵列的关键技术。论文以典型的球面微透镜阵列的快刀伺服加工为研究对象,研制一种采用音圈电机驱动的快刀伺服车削加工系统,规划微透镜阵列快刀伺服加工刀具路径,搭建控制系统,设计稳定性高、跟踪性能好的基于干扰观测器的离散滑模控制器。论文所做的工作如下:(1)快刀伺服加工
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