薄膜厚度的测量在薄膜生产和加工过程中有着十分重要的意义。本文给出了一种基于红外技术的薄膜厚度在线测量方法，该方法能实现薄膜厚度的实时在线测量。本文主要研究了利用红外技术进行薄膜测厚的原理，并设计了以DSP为核心处理器的薄膜厚度在线测量系统。此系统主要包括温度控制电路、薄膜厚度敏感电路、前置处理电路、人机界面以及核心处理器TMS320F2812；实现光电转换、信号处理、实时采样、数据处理、数据的实时显示和人机交互等功能。本系统利用Beer Lambert原理，即入射光强和出射光强的差值与薄膜厚度的关系满足Beer Lambert关系式。为了尽量避免干扰，并提高测量精度，在这一原理的基础上，加入对照组，并采用调制光。本文介绍了薄膜厚度测量的实现过程，对系统的硬件、软件部分分别进行了设计、分析与调试。系统以DSP为核心，主要包括模拟信号的获取与处理、数据采集与处理、人机交互三部分。采用2.9μm和3.4μm红外光组分别作为测量和参比光源，采用555定时器方波发生电路来产生红外光调制信号，两路调制信号相位相差180°，分别驱动两路红外发光管，利用Pbse红外光敏元件实现光电转换，采用高性能滤波芯片MAX275设计带通滤波器，获得信噪比较高的模拟信号；采用16位AD转换芯片AD976(A)进行信号采集，利用插值算法制作薄膜厚度查询表，DSP核心处理芯片F2812在程序上实现FIR数字滤波功能和归一化数据处理，以提高信噪比、确保测量精度；DSP与液晶显示触摸屏通信实现人机界面功能。本系统应用MATLAB结合CCS的软件开发平台实现系统软件部分的仿真、编程与调试。实验结果表明，本系统的设计能够实现薄膜厚度的实时在线准确测量。