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硅微陀螺是一种以哥氏效应为基础结合MEMS技术的惯性传感器件,其具有功耗低、体积小、重量轻、抗过载能力强、能适应恶劣环境条件等一系列优点。与国外相比,国内的硅微陀螺仍然存在测控电路性能有待提高,陀螺标度因子以及零偏稳定性较差的劣势。为此,本文以优化测控电路,实现硅微陀螺性能提高为目的,做了以下工作。首先,在硅微陀螺内部结构和工作原理分析的基础上,对其机械结构进行了并联RLC电学等效；对硅微陀螺的接口分布参数进行精确建模,并对其进行了测量、分析与验证；基于Cadence软件构建了包含机械结构、接口分布