随着微波技术的飞速发展,通信系统向着更大作用范围、更强抗干扰能力的方向发展。高功率的微波通信系统,在实现高信噪比、强抗干扰、远作用距离、大覆盖范围等性能上有着明显优势,是实现系统高准确度和大作用范围的重要保证。同时随着电子一体化、多功能融合和多系统融合概念的提出,通信系统的带宽从一倍频程以下的窄带逐渐扩展至三倍频程以上。短期内,MMIC功放芯片难以突破工艺水平、散热、微波传输结构等限制,实现宽带大功率输出,因此需要通过宽带功率合成技术实现超宽带、大功率的系统输出。基于铜基MEMS的微同轴工艺是一种全新的射频系统集成技术,其制作的微波毫米波器件与电路有着宽频带、小型化、低损耗、高隔离度、高集成度等优势。本文基于微同轴工艺制作了一款微同轴一分二功分器和一款微同轴一分四功分器,并对功分器的功率容量进行了计算、仿真与实测,在此基础上设计了基于铜基MEMS微同轴工艺的100W宽带脉冲功率合成放大组件。组件在6-18GHz频带内输出功率在100W以上。微同轴一分二功分器作为前级合成单元,体积约3mm×5.85mm×0.5mm,合成效率在93%以上;微同轴一分四功分器作为末级合成单元,体积约5.85mm×12mm×0.5mm,合成效率在87%以上。基于铜基MEMS微同轴工艺制作的宽带功率合成单元体现出了优异的小型化、宽频带、低损耗合成性能,具有广阔的发展前景。