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该论文采用高频脉冲电源在有机介质中选择不同的基片材料利用电沉积方法制备类金刚石薄膜,并对电积过程的一些反应现象以及相关的物理化学问题作了探讨.另外还研究了类金刚石薄膜的机械、电学等性能.
液相法沉积类金刚石薄膜的基础性研究
【摘 要】
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该论文采用高频脉冲电源在有机介质中选择不同的基片材料利用电沉积方法制备类金刚石薄膜,并对电积过程的一些反应现象以及相关的物理化学问题作了探讨.另外还研究了类金刚石
【机 构】
：
北京理工大学
【出 处】
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北京理工大学
【发表日期】
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1999年期
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