【摘 要】
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微加速度计是微惯性测量组合(包括微加速度计和微陀螺仪)的关键部件,在许多相关领域都有着广阔的发展和应用前景。特别是基于SOI(绝缘衬底上的硅,Silicon on insulator)的电容式微加速度计已成为目前研究和分析的热点,采用SOI技术的微加速度计不但具有较好的硅机械特性,而且使CMOS(互补金属氧化物半导体,Complementary Metal Oxide Semiconductor)
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微加速度计是微惯性测量组合(包括微加速度计和微陀螺仪)的关键部件,在许多相关领域都有着广阔的发展和应用前景。特别是基于SOI(绝缘衬底上的硅,Silicon on insulator)的电容式微加速度计已成为目前研究和分析的热点,采用SOI技术的微加速度计不但具有较好的硅机械特性,而且使CMOS(互补金属氧化物半导体,Complementary Metal Oxide Semiconductor)工艺与MEMS加工工艺能够兼容,为加速度计表头与CMOS单片集成提供了可能,实现了惯性器件微型化、可集成
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