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在纳米技术领域,微球常被用作测量系统的测头。随着加工精度的不断提高,精密器件特征尺寸趋于微型化,要求测量系统中应用的微球球径越来越小,如微纳米三坐标测量机(Micro-Nano Coordinate Measuring Machine,简称微纳米CMM)要求其测头探球球径在数百微米以内,且球度要控制在数十纳米量级甚至更高精度。然而,目前对于微球球度测量问题的研究仍处于探索阶段,还没有成熟的技术。针对球径在数十微米至亚毫米量级的微球球度测量问题,本文提出一种可实现微球球度高精度测量的方法,研制了基于该