微纳米三坐标测量机相关论文
微/纳米三坐标测量机的扫描探头不仅可以输出开/关信号,还可以实现一定范围内的三维测量。课题组开发了几种基于二维角度传感器测......
随着科学技术的进步,超精密加工技术的精度已经可以达到纳米级别,这些超精密元器件对微纳米尺度的测量提出了更高的要求。传统的三......
随着“中国制造2025”宏大计划的推进实施,先进制造技术中的微纳米测量技术和微细加工技术也迎来了迅速发展,诸多高端设备与精密仪......
微纳米加工技术的迅速发展对精密工程领域的测量精度提出了更高的要求,探头系统作为微纳米三坐标测量机的关键组成部分,在很大程度......
近年来，随着超精密加工和微细加工技术的广泛应用，微型机械、超精密光学器件、MEMS等越发趋于微型化，传统的三坐标测量机(CoordinateM......
介绍了国内外测量探头的研究现状;设计了基于簧线和簧片的弹性机构,建立了典型结构：弹性机构的刚度模型,对不同形状的弹性机构进行......
随着超精密加工技术的发展，纳米尺度的三维测量需求越来越迫切。因此，基于纳米三维测量技术的纳米三坐标测量机，成为了国内外著名高校......
针对微型和小型元件的测量问题,设计了一种微纳米三坐标测量机的接触式探头高灵敏弹性机构。弹性机构由铍铜合金簧片、铝合金悬浮......
微纳米三坐标测量机（Coordinate measuring machining, CMM）是目前微纳米三维测量领域的一个研究热点，针对微纳米CMM中三维纳米测头的......
针对现有微纳米CMM机（Micro-Nano Coordinate Measuring Machine,微纳米CMM）测量逼近效率低的问题,设计了一种基于视觉引导的3D纳米......
为解决微电子机械系统（MEMS）器件三维尺寸高精度测量的难题,研制了一种适用于微纳米三坐标测量机的新型高精度三维接触触发式探头。......
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文中微纳米三坐标测量机在外尺寸测量过程中，探头与被测件存在接触力变形、摩擦力、还有测头的各向异性等因素，因此，对最终的测量精度......
针对微小结构和器件对大量程、高精度坐标测量方法和装置的需求,本论文研制了一套可用于微纳米三坐标测量机的接触扫描探头系统。......
三坐标测量机是实现三维方向测量的主要测量仪器。随着现代工业的发展，具有纳米级三维测量精度的三坐标测量机和三维接触式探头，正成......
随着纳米测试技术的发展,对三坐标测量机性能及精度不断提出新的、更高的要求,人们通过对传统三坐标测量机多方面改进,使得三坐标......
