随着可调谐激光器技术的发展，可调谐激光器的应用已涉及到光通信、光传感、光学测量等领域。尤其是在下一代高速率大容量相干光通信中，可调谐激光器将在增大光网络的容量，增强光网络功能性、灵活性等方面起到关键作用。由于外腔可调谐半导体激光器具有宽调谐范围、大输出功率、窄线宽、精确波长控制等优点，近年来受到众多学者的广泛关注。MEMS（微机电系统）技术的发展使调谐元件的大小可以做到芯片量级，减少激光器体积的同时降低了器件成本，使MEMS型外腔可调谐半导体激光器成为一种理想可商用化可调激光器的实现形式。本论文首先介绍了可调谐激光器的发展现状，对各种可调谐激光器的性能进行了对比。然后阐述了外腔可调谐半导体激光器的基本原理，分析了其输出特性及影响因素。调研了目前国内外提出的各种外腔可调谐半导体激光器结构，在此基础上总结了外腔可调谐半导体激光器的常用元件。最后，提出了一种以MEMS TOF（微机电系统可调光滤波器）和标准具作为波长选择元件，LC（液晶）芯片作为相位补偿元件，平面反射镜提供光反馈的可调外腔半导体激光器结构。实际研制了该结构激光器样品，实验测得该激光器的输出功率大于12dBm，边模抑制比大于50dB，可调谐范围达到40nm，覆盖整个C波段，线宽为200kHz左右。本文对研制商用可调谐外腔激光器具有一定的参考价值。