【摘 要】
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随着对光通信容量需求的快速增长，波分复用系统(WDM)是实现光通讯容量扩展的最好方法之一。可变光学衰减器(VOA)是波分复用系统的关键器件之一。 本文分析了集成化可变光学
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随着对光通信容量需求的快速增长，波分复用系统(WDM)是实现光通讯容量扩展的最好方法之一。可变光学衰减器(VOA)是波分复用系统的关键器件之一。 本文分析了集成化可变光学衰减器的工作原理、工艺制作和测试技术。在分析Y分支和多模干涉器型(MMI)的光学衰减器结构的基础上，采用脊形波导结构制作了MMI结构的可变光学衰减器，并对硅的刻蚀技术进行了研究和探讨，最后对制得的器件进行了测试研究。 经过测试，器件的技术指标比较理想：器件能够实现单模传输；插入损耗比较低；衰减范围比较大；能在较大的温度范围内工作。
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