电子管栅极表面处理技术的研究

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本课题是基于整体提高电子管的质量和降低生产成本的要求,对电子管生产中的重要部分——栅极的表面处理技术进行改进和完善,主要在以下方面进行了深入研究:在钼栅极表面处理方面,主要为实现降低栅极的热电子发射和二次电子发射,通过不同工艺路线的不断试验和摸索,成功开发出栅极电泳TaC、ZrC和电镀铂黑的新工艺,使栅极的涂覆质量稳定可靠。上述几项新工艺的开发为电子管新产品的开发和老产品质量的改善奠定了良好的基础。在热解石墨栅极处理方面,主要为完全清除激光加工过程中产生的各种污物、杂质及垢块,保证热解石墨栅极内外表面的清洁度。通过开展多项工艺试验,摸索出焙烧、清洗、真空热处理等合理的工艺规范。按照这些规范处理的热解石墨栅极质量符合电子管装配的要求。上述工艺的开发成功为我公司超大功率广播发射管和出口的电子管等重点新产品的研制创造了良好的条件。
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