【摘 要】
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被称为物质第四种形态的等离子体(plasma)拥有众多特殊的物理和化学性质。目前,随着等离子体技术在化学化工、低碳环保、生命科学以及化石能源等领域的广泛应用,对于高精确的等离子体参数特性要求也越来越严格。等离子体参数的诊断方式有很多,作为其中最古老、最简单、最方便的静电探针法是目前诊断等离子体参数应用最广泛的方法之一。传统的静电探针系统是由分立元件搭建并手动的测量探针电压和电流,这样不仅效率低、精
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被称为物质第四种形态的等离子体(plasma)拥有众多特殊的物理和化学性质。目前,随着等离子体技术在化学化工、低碳环保、生命科学以及化石能源等领域的广泛应用,对于高精确的等离子体参数特性要求也越来越严格。等离子体参数的诊断方式有很多,作为其中最古老、最简单、最方便的静电探针法是目前诊断等离子体参数应用最广泛的方法之一。传统的静电探针系统是由分立元件搭建并手动的测量探针电压和电流,这样不仅效率低、精度差,而且抗干扰能力也不强。在静电探针法中,由于单探针工作在电子饱和流状态时,探针发热严重,自阻增加,将
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