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铜铟镓硒薄膜太阳能电池具有高转换效率、稳定性高、禁带宽度可调等优点,一直备受关注,CIGS电池结构复杂,分为背电极、吸收层、缓冲层、窗口层和减反层等多层,每层的薄膜质量,直接影响CIGS电池的光电转换效率、稳定性等电池性能,CIGS层作为CIGS薄膜太阳能电池的P型层,制备时,衬底的温度对薄膜的质量有较大的影响;i-Zn O带隙3.3e V,是作为CIGS薄膜太阳能电池的的N型的理想材料;AZO薄膜与i-Zn O晶格匹配,作为透明电极。因此,进一步研究薄膜的制备工艺和薄膜制备的新方法具有重大意义。本