【摘 要】
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论文分析了大功率LD的光学特性.针对发射波长808nm,光功率15W的线阵LD进行了整形方案研究,确定了整形微透镜的面形结构,分别利用有机材料微透镜和光纤制作的微透镜进行了整形
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论文分析了大功率LD的光学特性.针对发射波长808nm,光功率15W的线阵LD进行了整形方案研究,确定了整形微透镜的面形结构,分别利用有机材料微透镜和光纤制作的微透镜进行了整形实验.该文提出一种制作连续抛物面形微透镜的新方法—湿法刻蚀单晶硅,用简单的开孔掩模,在<110>单晶硅上制作出口径150μm,矢高100μm的柱面和旋转抛物面透镜阵列,透镜面形与标准抛物面误差小于3﹪,并具有很好的表面质量.
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