近年来，多城市出现典型区域大气复合污染特征，灰霾天气发生频繁，臭氧、PM2.5监测指标居高不下，人民生活工作环境受到严重影响。VOCs作为光化学烟雾以及PM2.5的重要前提物之一，对大气污染具有很大的贡献。本研究以VOCs处理设施企业应用的实际处理效果为研究对象，通过企业现场调研，针对各类治理设施在企业中的应用状况、实际处理效率以及对VOCs成分特征影响等问题展开了研究，并将为政府、企业更好的选择治理设施提供支撑。首先，论文通过对工业VOCs重点排放源资料的整理和分析，筛选出印刷企业、木制家具制造企业、涂料生产企业、金属表面处理企业四类典型工业VOCs排放源作为采样企业。分析调研结果可知，在安装治理设施企业中，活性炭治理设施的应用占60%；溶剂吸收法约占20%；其次是催化燃烧法、静电处置法、等离子体净化法的应用，因此选取上述五种治理设施作为研究对象，并根据采样方案实施采样并完成实验室分析工作。其次，根据各类治理设施实际处理效率分析得知，活性炭治理设施的管理与维护上存在较大的问题，导致设施的治理效率为-12.39%；水溶液吸收法的治理效率为14.70%，柴油吸收法的治理效率为29.77%；等离子体净化治理设施为59.37%；静电处置治理设施与催化燃烧活化治理设施均只有1组样品，其治理效率分别为91.56%、61.64%。再次，活性炭吸附对多数带甲基的大分子烷烃类处理效果较好，对一些小分子烷烃的处理效果较差；对少数酮类的处理效果偶尔较差，偶尔较好；对多数大分子苯系物处理效果较好。溶液吸收法（水、柴油）对VOCs物种的选择性吸收满足相似相溶原理。等离子体对乙醇、异丙醇等醇类处理效果较好；静电处置对多数烷烃的处理效果较佳；催化燃烧对苯乙烯的处理效果较好。最后，关于治理设施实测的评估结果，在目前国家的监管力度下，不建议推荐活性炭吸附措施的大范围使用；在加强VOCs回收工作提高处理效率与结合其他工艺处理的前提下，可考虑使用溶液吸收法；在综合考虑成本—效率—管理的条件下，可考虑使用等离子体、静电处置、催化燃烧这三类治理措施。