引线键合高频超声换能器的设计和键合头运动控制研究

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旨在提高引线键合设备的速度、封装质量和超声能量的转化效率,本文针对引线键合用高频超声换能器设计方法和实验测试作了详尽研究,同时探讨了键合头运动控制系统的搭建和调试。全文工作和取得的成果如下:根据振动和波动理论建立聚能器和换能器的数学解析模型,推导出其频率方程,通过机电等效原理,建立了压电换能器系统的机电等效电路,为换能器拓扑模型的设计提供了理论依据。利用上述解析方法,求解出换能器的初始几何拓扑模型,借助有限元分析软件ANSYS对换能器的各组成部件以及换能器整体作谐振特性分析,
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