【摘 要】
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该文提出了粗微结合的双层工作台的微定位系统.粗动工作台可以达到大行程,用于宏观调整;微动工作台用来获得高分辨率,实现超微定位.对于粗动工作台,研制了控制系统,通过计算
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该文提出了粗微结合的双层工作台的微定位系统.粗动工作台可以达到大行程,用于宏观调整;微动工作台用来获得高分辨率,实现超微定位.对于粗动工作台,研制了控制系统,通过计算机控制,结合电机驱动,在宏观位移情况下,可以实现亚微米级的定位,其行程可达二十毫米.对于微动工作台,研究了以柔性铰链为弹性导轨,压电、电致伸缩微位移器为驱动机构的超精定位理论,设计了超微定位机构,结合纳米级的传感器、自动控制技术研制了数字闭环控制系统.引入PID调节提高系统的定位精度,该系统定位重复性优于0.01μm.对微定位系统的控制系统进行研制,通过对实验数据进行分析微动工作台的定位重复性.可以得出粗微结合的工作台可以实现大行程、高精度的运动.
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