在超强超短脉冲激光系统的研究应用过程中，由于脉冲宽度的不断减小，单脉冲功率越来越大，产生了不同于常规激光薄膜损伤过程的很多特殊的新问题。本文主要以飞秒和皮秒脉冲激光为激发源，较系统的研究了激光作用下光学薄膜的损伤形貌，损伤阈值，损伤机制。　　 在光离化、碰撞离化以及两者联合模型的基础上，分析了光学薄膜的损伤阈值与激光脉宽，波长和薄膜禁带宽度之间的关系，利用该模型对飞秒激光作用下的光学薄膜损伤实验结果和过程给出了合理的解释。　　 以双温模型为基础，分析了飞秒激光作用下金属薄膜的电子和晶格的非平衡温度分布以及电子与晶格之间的微观能量传递过程。计算了不同金属薄膜的烧蚀阈值。　　 对常规薄膜进行了飞秒激光损伤阈值测试，通过分析损伤形貌和损伤阈值，揭示与传统的纳秒激光下损伤的不同。表明飞秒激光下薄膜的损伤是本征的，与杂质缺陷外部因素无关。薄膜材料带隙和薄膜内部场分布是影响损伤阈值的主要因素,提出了改善薄膜损伤阈值的途径。　　 进行了皮秒(38ps)脉冲激光作用下光学薄膜的损伤实验，对比了不同样品之间的激光损伤阈值。发现薄膜的损伤具有特殊性，损伤特征介于飞秒激光下的场离化和纳秒激光下的杂质缺陷热损伤之间。认为皮秒激光下薄膜的损伤主要是杂质缺陷和本征作用共同作用的结果。