超声冲击处理是改善焊接接头残余应力的有效方法之一。超声冲击处理装置由超声发生器和超声振动系统组成。其中超声发生器技术经过几十年的发展，它的结构和功能不断完善，但同时也使系统复杂化，给使用和维护造成困难。因此，研究超声发生器的故障诊断，对这一问题的解决十分有意义。 本文在对VMOS管超声发生器的结构及现有功能研究的基础上，提出了通过简单、可靠的以单片机为核心的硬件电路与软件程序设计实现超声发生器的故障诊断方法。文中首先对发生器各个模块单元的潜在故障以及工作过程参数值偏离正常工作值的软故障进行分析，并建立了故障采集的知识库，设计了诊断系统的整体思路。其次，对以80C196KC单片机为核心的硬件系统、各模块输出信号、电压、电流有效值、工作频率及相位差的采集电路设计进行了详细分析。然后，介绍了软件系统的设计思想，并对主程序及数据采集、数据处理、故障信息显示模块程序进行了系统性介绍。最后，还对系统的抗干扰措施及仿真调试的问题进行了分析。 该诊断系统设计结构简单，工作性能比较稳定、可靠，基本满足了故障诊断的需要，进一步完善了超声发生器的功能，对超声冲击处理的应用起到一定的推动作用。