【摘 要】
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光纤激光掩膜微细电解复合加工是微细电解加工与激光表面改性技术复合的加工方法,采用光纤激光器在304不锈钢表面以直写方式进行表面改性处理,在不锈钢表面生成金属氧化层,形成抗腐蚀性保护掩膜,再将激光表面改性技术与微细电解加工技术相结合,利用简单片状工具电极通过微细电解加工,完成复杂微结构加工。该工艺与其他微细加工方法相比,无需光刻技术制作保护层,也避免了微细电极的加工。本文对光纤脉冲激光加工304不锈
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光纤激光掩膜微细电解复合加工是微细电解加工与激光表面改性技术复合的加工方法,采用光纤激光器在304不锈钢表面以直写方式进行表面改性处理,在不锈钢表面生成金属氧化层,形成抗腐蚀性保护掩膜,再将激光表面改性技术与微细电解加工技术相结合,利用简单片状工具电极通过微细电解加工,完成复杂微结构加工。该工艺与其他微细加工方法相比,无需光刻技术制作保护层,也避免了微细电极的加工。本文对光纤脉冲激光加工304不锈钢表面热场进行ANSYS有限元分析,研究光纤脉冲激光对工件表面的影响。通过激光烧蚀试验模拟激光掩膜加工过程,用电子显微镜观察测量工件表面形貌。利用电化学极化特性曲线分析,研究不同参数下的激光掩膜耐腐蚀性从而揭示光纤激光掩膜微细电解加工机理,最后通过光纤激光掩膜微细电解复合加工平台进行工艺试验对得出的结论进行验证。通过试验研究发现,激光加工功率、扫描速度、激光线间距对光纤激光掩膜微细电解复合加工影响较为显著,激光重复频率对加工效果影响不大,选择合适的加工参数,可以加工出具有细微结构特征的轮廓清晰的典型样件。
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