【摘 要】
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随着科技的发展和人民生活水平的提高,人们对身体健康以及环境中有毒气体的检测越来越关注。半导体型气敏传感器是目前应用最广泛的传感器之一,其中,ABO3钙钛矿型复合氧化物
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随着科技的发展和人民生活水平的提高,人们对身体健康以及环境中有毒气体的检测越来越关注。半导体型气敏传感器是目前应用最广泛的传感器之一,其中,ABO3钙钛矿型复合氧化物因其灵敏度高,选择性好等在气敏材料中占有重要的地位。本文采用柠檬酸盐燃烧法制备了LaCr1-xTixO3（x=0～0.4）系列化合物,XRD图谱表明LaCr1-xTixO3（x=0～0.3）系列化合物均为单一的钙钛矿型LaCrO3晶体结构,没有杂相存在,但是LaCr0.6Ti0.4O3材料中存在La2O3和La2Ti2O7峰。在工作电压为5V的条件下,对LaCr1-xTixO3（x=0～0.4）基厚膜型敏感元件进行了气敏性测试,结果表明该系列化合物中LaCr0.8Ti0.2O3气敏性最好,对丙酮的灵敏度最高。同时采用射频磁控溅射方法制备了LaCr0.8Ti0.2O3薄膜,并对其进行了XRD、XPS、SEM、AFM等结构表征,XRD图谱证明该薄膜仍为ABO3钙钛矿型结构,粒子在薄膜中排布均匀、致密,XPS图谱解析表明,薄膜材料的吸附氧比例高于粉体材料的吸附氧。
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