电极覆盖放电是一种将绝缘介质覆盖在电极表面的放电形式,由于常将其作为工业上生产等离子体的重要方法之一,目前对其在常规气体下的放电特性已展开了广泛的研究,但是对电极覆盖下SF₆气体的放电现象相关报道较少,特别是对其在不同的激励条件下与结构中的放电特性研究很少涉及。由于SF₆气体的高介电强度,其已成为主要的气体绝缘介质,且以SF₆作为绝缘介质的电气设备中也存在着与电极覆盖相似的绝缘结构,因此对电极覆盖SF₆放电特性进行研究,系统地分析不同外施电压参数与结构参数对其影响具有实际意义。本文采用一维自洽流体动力学的气体放电模型,涵盖了模型下对应的粒子动力学方程及泊松方程,并结合SG算法对反应扩散方程进行了离散化求解。对以SF₆为介质的电极覆盖放电的放电特性进行了研究,数值仿真了以毫秒级正弦交流与纳秒级高斯脉冲为激励的电流密度、电场强度与粒子密度等为特征量的时间演化与微观粒子行为,以此验证了带电粒子在覆盖层上的积累而产生的反向电场是使电极覆盖下SF₆气体不易持续放电的主要原因。相比与正弦电压激励下的放电特性,单极性纳秒脉冲下放电电流表现出明显的双极性。讨论了外施电压与结构参数等对放电特性的影响,结果表明无论是毫秒级的正弦或纳秒级的脉冲电压激励,提高外施电压的幅值都会使放电电流密度的幅值增大,带电粒子密度增加,而改变间隙宽度与覆盖方式对二者的影响各异,需分别说明。且在总体上,电极覆盖放电与常规放电形式相比也表现出特殊性,以上特性均可通过微观粒子行为进行解释。本文还设计了电极覆盖下间隙放电实验,运用罗氏线圈对脉冲电流信号进行测量,得到的纳秒单极性脉冲激励下的放电电流波形与仿真结果具有相似特征,即二者均呈现出明显的双极性。