透明基板刻蚀线路线阵扫描自动检测平台研发

来源 :华南理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:goodgay3_2004
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平板显示设备凭借其分辨率高、亮度高、功耗低等优点在显示领域中得到了广泛应用,而透明基板刻蚀线路图案是生产平板显示设备最重要的环节,其是否有缺陷直接决定平板显示设备的性能。目前透明基板刻蚀线路检测设备成本较高,与大型企业相比,中小型企业根本无力承担。因此,透明基板刻蚀线路检测水平已成为我国中小型平板显示设备制造企业提高产量与质量的关键。为降低我国中小型企业的生产成本,提高企业的自动化水平,本文基于机器视觉的缺陷在线检测理论,以线阵扫描系统为基础,对透明基板刻蚀线路自动检测系统进行研究,完成透明基板刻蚀线路线阵扫描自动检测平台的研发。主要工作如下:(1)在对透明基板刻蚀线路检测分析的基础上,设计透明基板刻蚀线路线阵扫描自动检测平台的总体系统框架,以图像采集、运动控制及图像处理三大模块为基础,设计整体软硬件平台。为提高平台的运行效率和工作协同性,依据相应的设计原则,采用“五视图”方法对软件模块进行总体设计。(2)根据实际检测需求,搭建合理的成像系统。结合线阵扫描系统的特点,采用一种简单易行的光机调校方法;对图像进行滤波去噪处理,并提出基于Halcon视觉软件平台的图像分割算法和图像拼接算法,这两种算法可以快速得到满足后续检测要求的图像。最后对采集模块的工作流程进行设计,结合硬件编写图像采集模块的控制程序与软件界面。(3)搭建线阵扫描自动检测平台的运动控制平台,重点研究运动速度与采集图像精度的关系,提出利用C#.NET中的委托与事件机制实现运动速度与线阵相机行频自动匹配的方法,该方法可以在调节运动速度的同时保证采集图像的精度。结合图像采集模块设计运动控制模块的工作流程,并编写运动控制模块的控制程序与软件界面。(4)在完成自动检测平台软硬件设计的基础上,对其功能以及精度进行测试,并选取电容触摸屏ITO线路作为实验对象,进行自动检测实验,结果证明本文所设计的平台运行快速、稳定,线路缺陷检测准确率高。
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