【摘 要】
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多孔硅具有与IC工艺相容,比表面积大,微结构可控并能被多种材料修饰的特点,因此基于多孔硅的化学气体传感器逐步在引丰收了人们的关注.该文研究了多孔硅以及基于多孔硅的化学
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多孔硅具有与IC工艺相容,比表面积大,微结构可控并能被多种材料修饰的特点,因此基于多孔硅的化学气体传感器逐步在引丰收了人们的关注.该文研究了多孔硅以及基于多孔硅的化学气体传感器.研究了两种基于多孔硅的化学气体传感器.1、多孔硅作为气体敏感层的化学气体传感器.对丙酮,乙醇,水气进行了测量,得到了对丙酮有较大响应,对乙醇和水气响应较小的不同的反应曲线.同进该文研究了纵向电极和横向电极不同的传感器的结构,讨论了寄生电阻电容对测量结果的影响,并对测量结果进行了比较.结果表明具有横向电极结构的传感器具有较高的灵敏度.2.在多孔硅上修饰加有催化剂的单体材料化学气体传感器.对丙醇,乙醇,水气进行了测量,结果表明催化剂修饰后的传感器提高了对丙酮测量的灵敏度和选择性,测量限为2ppm.
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