本文首先介绍了现有微细加工方法并对其进行比较，提出基于激光捕捉(Laser Trapping)实现微细加工的新技术。 激光捕捉技术又形象地被称为光镊，它是激光光压的主要应用之一，是利用一束高度会聚的激光形成的三维势阱实现对微小粒子(亚微米到数十微米大小)精确定位和操控。文中综述了这一新型技术的研究现状，目前已广泛应用于生物，医学、物理和化学等领域中，但在微细加工应用方面的研究国内外尚处于起步阶段。R．C．GAUTHIER在1997年首次提出将“光镊”应用于微加工领域，可实现对微小器件的非接触式移动、操纵和组装，但R．C．GAUTHIER未提到将它应用于表面或体微细加工。文中创新性的提出将几个微米的高强度微粒子(如金刚石、碳化硅、石英等)作为微加工工具，在光镊的驱动下在加工表面产生移动、高速转动及振动，从而完成微米乃至纳米级的加工任务。这种新型加工技术具有易实现、易控制、高加工精度、可实现三维加工的四大特点，克服了现有加工方法的缺点。 本文从理论和实验两方面研究对其进行了论证。理论研究以量子光学为理论基础，利用几何光学和动量守恒定律建立了仿真模型，实现了对任意形状米氏粒子受力的计算机仿真。了解了各项参数对粒子捕捉力和光力矩的影响，确定了最佳捕捉条件。实验研究以理论研究为基础，建立了满足最佳捕捉条件时的实验装置，并在国内首次实现了在液体中对高强度粒子的捕捉，并使被捕捉的粒子在加工面上反复移动及转动，获得了2nm的表面微细刻痕。同时还通过实验比较，定性分析了最佳加工条件(如激光功率和加工表面参数)。