【摘 要】
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设计制作了一种柔性压力传感器,以聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)作为柔性基底,用静电纺丝技术制备的锆钛酸铅(PZT)纳米纤维作为敏感材料。将PZT纳米纤维铺设到带有氧化铟锡(ITO)
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51375017)
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设计制作了一种柔性压力传感器,以聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)作为柔性基底,用静电纺丝技术制备的锆钛酸铅(PZT)纳米纤维作为敏感材料。将PZT纳米纤维铺设到带有氧化铟锡(ITO)叉指电极的PET柔性基底上,再将聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜覆盖在PZT纳米纤维上制成柔性压力传感器。利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分别对PZT纳米纤维的晶体结构和形貌进行了表征,并通过测试系统测试了传感器的性能。测试结果表明:在20～60kPa内,随着压强的增大,传感器的开路电压随之线性增大,最大约为10V,其中灵敏度约为180mV/kPa。
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