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通过等离子增强化学气相沉积法,制备了本征和掺磷的氢化纳米硅薄膜,研究了晶粒尺寸和掺杂浓度对纳米硅薄膜喇曼谱的影响。结构表明晶粒变小和掺杂浓度增加都使纳米晶粒的TO模峰位逐渐偏离声子限制模型的计算值。X射线衍射和高分辨电镜像的结果表明晶粒变小导致硅晶粒应力增加,而掺杂使晶粒内部杂质和缺陷增多,这些因素破坏了晶粒内晶格的平移对称性,进一步减小声子的平均自由程,导致实验值偏离理论计算值。晶格平移对称性的