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基于菲涅耳衍射积分公式推导出激光束经扫描元件衍射后场分布表达式，数值分析了激光束经扫描元件后衍射场振幅分布、激光束在扫描面上的光斑半径和激光扫描系统光学分辨本领的大小．结果表明，改变入射光束的束腰半径对激光扫描系统线分辨率、可分辨光点数和分辨容积产生不同的衍射影响．采用近似和拟合方法，分段给出不同衍射情况下激光扫描系统的线分辨率的函数表达式，并通过误差分析证明了近似和拟合函数表达式的精确性．