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SEMICON展览向来是半导体设备和材料公司推出新品的季节。在SEMICON Japan2007开幕的前一天,中微公司(AMEC)在日本东京举行新闻发布会,宣布其拥有自主知识产权的、用于65及45nm的高端芯片加工设备——Primo D-RIEf去耦合反应离子刻蚀)设备及Primo HPCVD(高压热化学沉积)设备,正式进入全球半导体主流设备市场。