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介绍微机电模拟和仿真的一些基本特点，概括MEMS CAD的体系结构，以及等效电路法建立宏模型的方法和用ANSYS进行耦合场分析，并指出今后有待研究的几个问题。
MEMS模拟仿真研究和发展现状
【摘 要】
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介绍微机电模拟和仿真的一些基本特点，概括MEMS CAD的体系结构，以及等效电路法建立宏模型的方法和用ANSYS进行耦合场分析，并指出今后有待研究的几个问题。
【机 构】
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江苏省镇江市江苏大学校本部671信箱212013
【出 处】
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现代制造工程
【发表日期】
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2004年12期
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