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磁场拉晶技术简介
磁场拉晶技术简介
来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tezon1
【摘 要】
:
本文回顾了磁场拉晶的历史,并对磁拉Si、GaAs和InP的原理、装置、生长技术以及发展水平作了简要的描述,评价了磁拉单晶的电学、光学性能和结晶学特性,概括性地对磁拉单晶与微
【作 者】
:
韩玉杰
孙同年
【出 处】
:
半导体情报
【发表日期】
:
1989年1期
【关键词】
:
单晶拉制
磁场拉晶
单晶
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本文回顾了磁场拉晶的历史,并对磁拉Si、GaAs和InP的原理、装置、生长技术以及发展水平作了简要的描述,评价了磁拉单晶的电学、光学性能和结晶学特性,概括性地对磁拉单晶与微重力下生长的晶体作了比较。
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