硅微型振动陀螺的设计

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从理论和材料力学两方面对硅微机械振动陀螺进行研究,提出了一种简化的结构模型,并介绍了这种陀螺的设计方法。 From the theoretical and material mechanics, the MEMS micromechanical gyroscope is studied. A simplified structural model is proposed and the design method of the gyroscope is introduced.
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