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介绍了双焦干涉球面微观轮廓仪的总体设计，对仪器结构的信心部分；扫描工作台和调焦系统的设计作了详细的分析并通过不同Ｒ的球面进行了实例示例。
双焦干涉球面轮廓仪机构分析
【摘 要】
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介绍了双焦干涉球面微观轮廓仪的总体设计，对仪器结构的信心部分；扫描工作台和调焦系统的设计作了详细的分析并通过不同Ｒ的球面进行了实例示例。
【机 构】
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浙江大学光科系,杭州
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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1996年4期
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