双焦干涉相关论文
介绍了双焦干涉球面微观轮廓仪的总体设计，对仪器结构的信心部分；扫描工作台和调焦系统的设计作了详细的分析并通过不同Ｒ的球面进行了......
介绍了一种双焦干涉球面扫描轮廓仪，该仪器利用计算机及自动控制系统对曲率半径从±5mm～±30mm的球面进行扫描驱动及采样，并......
激光双焦干涉表面微观轮廓仪在测量原理上首次实现完全共路干涉和无需参考面的突破，为在加工现场对光滑表面的实时检测提供了可能。......
本文简述非接触表面微观形貌测量技术的发展概况，并对几种新型干涉测量仪器的工作原理和作了简单介绍。......
