【摘 要】
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高分辨率X射线衍射具有不损伤样品,无污染、高精度等优点,能够得到有关晶体的完整信息,是研究薄膜性质的重要手段之一。本文采用高分辨X射线衍射得到InGaN/GaN样品的ω/2θ扫
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高分辨率X射线衍射具有不损伤样品,无污染、高精度等优点,能够得到有关晶体的完整信息,是研究薄膜性质的重要手段之一。本文采用高分辨X射线衍射得到InGaN/GaN样品的ω/2θ扫描图和倒易空间图,研究InGaN/GaN样品的应变和组分、InGaN/GaN多量子阱的平均组分级厚度周期。从倒易空间图像得出的晶格常数与由002面和105面摇摆曲线所计算出的晶格常数相比较,垂直晶格常数符合得很好,而水平方向的晶格常数则有较大的差别,可以认为从倒易空间图像中得出的晶格常数更为准确
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