【摘 要】
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本文介绍一种实验室用的、抽气时间短、简易的极高真空系统。它由一台特殊设计的玻璃冷冻钛升华泵与超高真空玻璃油扩散泵串联所组成,可在10小时内从低真空抽到10~(-13)托(使
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本文介绍一种实验室用的、抽气时间短、简易的极高真空系统。它由一台特殊设计的玻璃冷冻钛升华泵与超高真空玻璃油扩散泵串联所组成,可在10小时内从低真空抽到10~(-13)托(使用新型的轴向式抑制规测)。文章介绍了该系统的结构特点,并分析了影响该系统极限真空的因素。
This article describes a laboratory with a short exhaust time, simple and extremely high vacuum system. It consists of a specially designed glass frozen titanium sublimation pump and ultra-high vacuum glass oil diffusion pump series connected in 10 hours can be drawn from a low vacuum 10 ~ (-13) care (using a new type of axial suppression gauge Measurement). The paper introduces the structural characteristics of the system and analyzes the factors that affect the ultimate vacuum of the system.
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