升华泵相关论文
吸气材料在加热、蒸散、激活或工作过程中会明显地释放出氩气,本文给出了钡、锆-铝合金和钛吸气材料释放氩气的一些实验结果。最后......
一、引言 在同一抽速下,钛球升华泵的体积、重量、成本是扩散泵、浅射离子泵的几十分之一。它可以作外真空的主泵,加机械泵作内真......
本文介绍一种超高真空电阻炉。它是为了解决高温焊接工艺发展起来的。炉子恒温区 ф２５０ × ３００毫米，工作温度到１６００℃极限真空度１０－ 托，在１５００℃时，真空......
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设计了一套复合式单透镜加平行栅网减速的减速透镜系统以代替原来的三元筒减速透镜，改造了探测器室的结构，在倍增器上加了ZOOV的偏压......
借鉴欧洲空间中心所用检漏仪的原理及主要技术措施，采用分子泵和机械泵的真空获得系统、钛升华泵和旁通阀真空维持系统、高灵敏的质......
本文从实验装置、工艺流程、接合机理、接合强度以及影响因素等方面综合评述了表面活化常温接合技术研究的进展状况。
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前言 国防现代化和无线电工业的发展要求电子工业研制更多更好的电子器件。1973年在试制TM—86F脉冲调制管的过程中,为了改善该管......
一九八一年九月十一日至十四日在沈阳召开了真空学会真空获得技术专业委员会成立大会并进行了首届学术交流。会议上共交流了65篇论......
一、无油排气系统 从1974年开始,在北京仪器厂的协助下我们组装了一台无油真空系统专用于大功率发射管的排气,(1)该系统以两级吸附......
本文小结了为满足电真空器件生产要求而研制的无油超高真空系统的设计思想；全无油机组设计、冷阴极溅射离子泵、钦升华泵结构选择和......
本文评述了无油抽气技术在国内外空间环模设备中的发展和应用概况，讨论了实现无油抽气的各种技术途径，并对我国大型环模设备改为无油......
本标准适用于往复真空泵、定片真空泵、旋片真空泵、滑阀真空泵、机械增压泵、轴流分子泵、分子筛吸附泵、冷凝泵、水蒸汽喷射泵、......
一、概述 为了满足电子工业发展的需要,我厂在上无十四厂等单位的协作下,于1975年开始试制CWD-500无油超高真空镀膜机,经过八个月......
本文提出了一种带选择性吸气泵的膨胀法高真空规校准系统。用锆铝泵或钛球升华泵可长时间使密封系统平衡在较低的本底压强(用钛升......
在氦氖激光器制作过程中,真空系统的好坏和管内所充气体的纯净程度,对器件的性能和寿命有着直接的影响。目前我们所用的氦氖气体......
本文描述微漏率标准漏孔校准装置,装有选择性吸气泵——水冷钛升华泵;用定容升压法测量。加钛泵后系统内的大部份活性气体被消除,......
目前在中小型无油超高真空抽气系统中,大多采用溅射离子泵为主体系,尽管溅射离子泵具有一系列优点,如使用简便,寿命长,耗用功率小,......
可以概括地说，减少真空泵和真空室连接件中的气流损失就可以改进涡轮分子泵的抽速。 使用另外的与涡轮分子泵相适应的超高真空泵系......
用装有阶梯式(conflat)密封法兰的涡轮分子泵,设计了一个超高真空系统。这个系统,经200℃、20小时烘烤后,极限真空度是1.4×10-9乇......
一、概述 分子束外延(简称MBE)技术是七十年代国际上迅速发展起来的一项新技术。它是在真空蒸发工艺基础上发展起来的一种外延生长......
1.导言 真空系统内部是一种动平衡状态,一方面由气流而另一方面由抽气来决定剩余气体的压力和成份。因此,系统内部气体质量的变化,......
把真空技术应用到粒子加速器中,必须满足加速器的一些要求,适应加速器的环境条件。这就给真空技术工作者提出了一些新的需要解决......
自从1950年Bayard-Alpert电离计发明以来,真空技术逐步向超高真空领域推进。特别是现代科学技术──原子能、电子计算机和空间技术......
1.引言 在真空系统中,利用钛膜对活性气体进行排气的钛升华泵,操作简便,造价低廉,是一种具有较大抽速,无油污染的泵。因此被广泛地......
对于确实不存在碳氢化合物的真空过程，到目前为止主要是使用溅射离子泵，它常和钛升华泵组合，称之为“干”泵系统。研制用氦作为致冷剂......
超高真空技术是从1950年BA型电离真空计的发明以后迅速发展起来的。现代科学技术的发展对超高真空技术是一个很大的促进。本文将......
学术报告高技术与真空科学1(2)炭纤维石墨化炉的结构与性能研究2(36)油蒸汽流泵的抽气量和它所需的蒸汽喷射量之间关系的探讨2(41)......
一、引言分子束-表面散射装置是研究气体分子与表面相互作用的重要手段,也是表面分析的方法之一。该装置由两大部分组成。一是在......
本实验装置的特点是起动快,维持久,不加冷剂,抽气两三个小时即可达到1.8×16~(-6)帕的真空度。最近的实验结果,起始压力为1.33×1......
以光发射产额谱仪为主的综合谱仪真空系统由三个真空室组成。其中分析室要求极限压强不大于２．７ × １０－８ Ｐａ；要求清洁无油；在工作期间不许使用......
本文叙述了快速进入10~(-9)Pa的超高真空机组的关键措施,描述了该机组的结构设计特点,新颖的表面处理工艺技术,以及独特的排气规范......
本文介绍了一台表面分析仪的超高真空系统的设计与调试。由涡轮分子泵与钛升华泵组合抽气,真空室中最高真空度可达2.6×10~(-10)托......
真空获得设备如何在ＩＣ生产工艺中正确合理的使用是至关重要的，作者依据 多年从事半导体设备设计和维修工作的实际经验撰写了本文。阐......
介绍了去日本考察的情况。其内容涉及极高真空获得,极高真空测量。在极高真空获得方面,集中于降低出气量;在极高真空测量方面,集中......
在同步辐射电子储存环中，由于光电解吸的作用，将解吸大量的气体，而储存的束流电子与气体分子的碰撞将引起电子的散射，导致束流寿命的减......
兰州重离子加速器冷却储存环超高真空样机日前经过成果鉴定,真空度达到5×10~(-10)Pa,超过了1×10~(-9)Pa 的设计指标,这在我国同......
介绍了设计原则、实现途径和极限真空估算。概述了设备特点和测试结果，并与国内外情况进行了比较。
Introduced design principles......
以短管近似方法导出了分子流在圆截面粘附管内的流动分布及其通过几率和反射几率公式。公式计算结果与蒙特卡罗计算结果进行了对比......
SORB—AC泵是一种利用非蒸散吸气材料来着活性气体的新型真空泵。吸气材料为ST101锆—铝合金。ST101合金是十年来深入研究非蒸散吸......
